位置
珠海市香洲区南屏科技园屏西十路15号3#厂房5层501室
产品应用
LH Precision & Automation（泺鸿科技（珠海）有限公司）是一家以工程为核心驱动的制造解决方案提供商，服务于全球医疗设备、半导体设备及高端工业装备制造企业。
精密数控加工半导体设备零部件
产品名称
精密数控加工半导体设备零部件
用于半导体制造设备的高精度数控零部件
产品概述
精密加工零部件是半导体制造设备精度、稳定性和可靠性的基础。
从晶圆加工与检测系统，到真空腔体、自动化模块以及精密定位机构，每一个部件都必须具备卓越的尺寸精度、表面质量和重复定位精度。
LH精密与自动化为半导体设备制造商提供高精度数控加工服务，支持原型开发、工程验证及批量生产。我们采用铝合金、不锈钢、铜及其他工程材料，制造各类复杂零部件，并在整个生产过程中实施严格的质量控制。
为什么精密零件至关重要？
半导体制造需要极高的精度。
高品质的机加工零部件有助于：
• 精确的晶圆定位
• 稳定的运动控制
• 可靠的真空密封
• 减少振动
• 提高了设备的重复性
• 更长的使用寿命
精密加工直接支撑设备性能、工艺稳定性和生产良率。
典型的半导体元件
• 精密结构件
• 真空腔体组件
• 晶圆搬运部件
• 精密夹具
• 安装板
• 定位块
• 铜制传热部件
• 铝制精密零件
• 不锈钢部件
• 定制CNC加工零件
主要特点
• 超精密加工
• 多种工程材料
• 稳定的表面处理
• 全面检查
• 工程支持
技术规格
| 项目 | 规格 |
| 材料 | 铝、不锈钢、铜、工程金属 |
| 机械加工 | 数控铣削、数控车削、多轴加工 |
| 平整度 | ≤0.05 毫米 |
| 垂直性 | ≤0.02 毫米 |
| 孔位精度 | ≤0.02 毫米 |
| 孔的精度公差 | ≤0.01 毫米 |
| 表面处理 | 阳极氧化、电镀、喷砂、喷涂 |
| 检查 | 全尺寸检测 |
应用程序
• 晶圆加工设备
• 半导体自动化系统
• 检验设备
• 真空设备
• 精密运动系统
• 半导体组装设备
• 洁净室自动化
为什么选择LH精密与自动化
✔ 高精度数控加工技术
✔ 工程驱动的制造
✔ ISO9001:2015质量管理体系认证
✔ 稳定的表面处理能力
✔ 全面的尺寸检测
✔ 从原型到量产的支持
✔ 原厂委托生产与定制生产
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